臺積電是目前最積極導入極紫外光微影設備提供代工量產(chǎn)服務的晶圓廠，也因臺積電在鰭式場效電晶體（FinFET）技術(shù)工藝精進，臺積電在5納米全數(shù)導入極紫外光微影設備。

臺積電已宣布3納米延續(xù)采用鰭式場效電晶體架構(gòu)，依此技術(shù)架構(gòu)，向2納米邁進。

臺積電此前在2019年年報中透露，公司已開始開發(fā)2納米技術(shù)，同時針對2納米以下的技術(shù)進行探索性研究。